硅膜传感器的研制
在实践应用中占据着举足轻重的地位
lcjyg.com，它的应用领域有：环境的监测、气候的分析、气象的预报、工业的生产以及航天和航空等等，在这些领域里，它的应用是十分广泛的。传统的传感器通常是机械式的，体积相对来说比较大，这样对集成化和微型化有很多的不利。如果使用MEMS技术之后，上面所说的缺点就可以得以解决，而且可以使它的性能变得更加的好，还可以使成本大大地降低。现在使用了MEMS技术之后得到广泛应用的传感器一般分为和压阻式两类。
传感器的温漂比较小，精密度很好，芯片的结构具有很好的鲁棒性，但是它的线性度比较差，而且很容易受到寄生电容的有关影响。而压阻式传感器跟它相比，温漂就比较大、精密度比较低以及一致性比较差，但是它的线性度却是很好的。现在的MEMS传感器一般使用在过压的测量当中，而用在气象的测量当中就比较少，而且它的价格不菲。因此，现在经过很多专家的研究，研制出了一种微型电容气象传感器，它成本低而且性能很高。制作它的整个过程工艺比较简单而且符合标准，薄膜材料就选取了单晶硅，这是使用了接触式的结构，而且根据阳极键合组成了腔，而硅薄膜就是由深刻蚀和氢氧化钾各向异性腐蚀组成的。经过试验之后，发现这种传感器很适合应用在气象的测量当中。
传感器的工作原理是：当受到外界的时候，电容的极板间的距离以及极板的面积就会发生变化，电容因此也会发生改变。当所受到的渐渐变大的时候，电容极板之间的距离就会变小，电容就会变大，这个时候，非接触式电容决定了电容的大小。如果电容的两极板互相接触的时候，那么这个时候，接触电容就决定了
变压器厂家电容值。
传感器***核心的元件是敏感薄膜，传感器的性能就是由它的厚度、尺寸大小以及材料决定的。现在敏感薄膜使用的材料一般都是单晶硅、Si3N4以及重掺杂p型硅等等。而这些材料都有各自的优点和缺点，它的选取跟具体的工艺和目标的要求有密切的关系。为了可以简化工艺，这种传感器就选取了硅膜，因为硅膜适合阳极键合组成空腔、机械性能很好，而且它不对晶格造成破坏。硅膜机械性能好这个特点，加上使用接触式的相关结构，再通过一些比较简单而且标准的工艺就可以制造传感器的样片。对它进行大量的测试以及大量数据的分析后，结果证明这种传感器很适合测量气象。虽然对它的研制在一定程度上有一定的成就，但是更多的问题还在后边等着专家去研究。为了提高传感器的测量的精密度，怎么样改进工艺的制造和结构的设计，这个是研究工作中正在努力的方向。
